光刻机有多依赖先进陶瓷？

　　最近，全球光刻机大佬ASML给美国的工程陶瓷企业CoorsTek颁了一个卓越供应商奖。颁奖是欧美大企业的常见行为，用以表达对上游供应商准时提供令人满意货物的认可，有的还包括资金或实物支持。

　　在光刻和晶圆检验中会用到诸多陶瓷元件，轴承、导轨、内衬、加热、承载、固定，几乎无所不能，无所不在。在CoorsTek而言，其产品有包括物理、化学、原子层沉积用衬板、过滤器等组件;等离子蚀刻设备元件，如用于改善晶圆蚀刻均匀性的聚焦环、气体喷嘴、腔体封盖等;快速热处理和外延加工元件;离子注入设备元件，如陶瓷空气轴承等;光刻和晶圆检测元件，如夹头、晶圆载体等;低压化学气相沉积及传热组件，如挡板、支架、喷头等;化学机械抛光(CMP)用抛光台和抛光板;各种半导体部件加工时的提升、加热、末端接触部件，等等……它们按用途需要具备抗静电、耐高温、耐腐蚀、不膨胀等特点。

　　据小编初步统计，仅CoorsTek披露的光刻机用先进陶瓷部件就近30种，其中尤以碳化硅(直接烧结、重结晶、气相沉积)为主，还包括氮化硅、氮化铝、刚玉、氧化钇、高纯石英等多种材质及形式的超纯及复合材料。而ASML的陶瓷部件供应商当然不止CoorsTek一家，部件也远不止几十种。随着我国光刻机攻坚征途不断前行，当然会给先进陶瓷产业带来众多机遇!

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